课程将较为全面地讲解阴极弧等离子体及相关涂层工艺,从等离子体概述开始讲起,将简要介绍阴极弧的发展历史,讲解阴极弧放电的物理学原理、电极间的等离子体、阴极弧源形式、阴极弧源形式、由荷能凝聚进行的薄膜沉积及阴极弧涂层的工业应用。
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